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高密度微波等离子体的产生及对其形成大面积微晶硅薄膜的应用
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文献信息
| 篇名 | 高密度微波等离子体的产生及对其形成大面积微晶硅薄膜的应用 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 微波等离子体 微晶 硅 薄膜沉积 大面积 | ||
| 年，卷（期） | 1999,（8） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 15-17 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TN304.12 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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微波等离子体
微晶
硅
薄膜沉积
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期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
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创刊时间：
语种：
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864
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