用原子力显微镜观察金刚石膜核化过程

• 作者: 孙永伟 廖克俊 王万录 王必本 蔡从中
• 来源期刊: 甘肃科学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石核化 热灯丝CVD 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2440字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0366.1999.03.002

摘要

对衬底负偏压热灯丝CVD金刚石膜核化过程进行了研究.利用原子力显微镜和扫描电子显微镜观察和分析结果表明,在衬底负偏压下正离子对Si衬底表面轰击导致产生了大量的小坑和尖劈端,以此作为核化点,从而促进了核化过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王万录	重庆大学应用物理系	109	849	16.0	22.0
2	廖克俊	重庆大学应用物理系	66	513	12.0	19.0
3	蔡从中	重庆大学应用物理系	24	228	7.0	14.0
4	王必本	重庆大学应用物理系	15	91	5.0	9.0
5	孙永伟	重庆大学应用物理系	1	5	1.0	1.0