集成电路激光打标机的设计

• 作者: 乐重发 华晓青 吴惠兴 陈振华
• 来源期刊: 机电一体化
• 学科: 工学
• 关键词: 自动 集成电路 激光标刻
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 新技术·新产品
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TP3
• 字数: 2732字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080X.2000.04.010

摘要

本文介绍了集成电路激光打标机的组成、各部分的作用、工作流程等,着重介绍了在研制工作中的关键技术及设计思路,列出了该设备的技术指标及优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈振华	上海大学机电工程与自动化学院	23	108	7.0	9.0
2	华晓青	上海大学机电工程与自动化学院	25	100	5.0	9.0
3	吴惠兴	上海大学机电工程与自动化学院	5	7	2.0	2.0
4	乐重发	上海大学机电工程与自动化学院	2	2	1.0	1.0