单晶炉真空炉室的设计

• 作者: 李留臣
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 真空炉室 半导体材料 冶炼 设计
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 新设备·新机构
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 1644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2000.04.008

摘要

真空炉室是单晶炉的主要部件之一,硅单晶的生长工艺过程都是在真空炉室内进行的.着重介绍单晶炉真空炉室的结构设计及其制造工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李留臣	西安理工大学晶体生长设备研究所	25	153	8.0	11.0