金属化工艺对开关晶体管应用可靠性的影响

• 作者: 许志峰
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 开关晶体管 金属膜质量 可靠性
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: TN323.6

摘要

本文对在工作过程中损坏的开关晶体管的解剖结果进行了分析，发现管芯正背面金属膜质量是引起开关晶体管失效的重要原因之一，指出正背面金属化工艺过程中应注意的几个问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许志峰		2	0	0.0	0.0