表面处理工艺对3AK32型高可靠晶体管主要参数的影响分析

• 作者: 崔庆河
• 来源期刊: 科学之友
• 关键词: 晶体管 表面处理 电解腐蚀
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 12-13
• 页数: 2页
• 分类号: TN321
• 语种: 中文

摘要

指出半导体器件是敏感器件,其表面处理工艺非常重要;结合工艺非常重要,结合工艺实践中遇到的问题,依据理论,分析了表面处理工艺对3AK32型高可靠晶体管主要参数的影响.总结了一些经过大量实验而取得的一些经验和做法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔庆河		1	0	0.0	0.0