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溅射气压
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氧空位
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用磁控管溅射技术控制氧化铟锡薄膜的特性
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 磁控管溅射技术 控制 氧化铟锡薄膜 特性
年,卷(期) 2000,(12) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 24
页数 1页 分类号 O484
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研究主题发展历程
节点文献
磁控管溅射技术
控制
氧化铟锡薄膜
特性
研究起点
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研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
月刊
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864
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