我国切割设备的现状与展望

• 作者: 靳永吉
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 大直径切割 线锯 半导体材料 可靠性
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 11-13,44
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2433字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2001.02.003

摘要

简述了国内外切割设备的最高水平和发展趋势,比较了国内与国外切割设备的差距及我国切割设备发展中存在的问题,提出了面对WTO发展我国切割设备应采取的措施和对策.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳永吉		1	20	1.0	1.0