微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术

• 作者: 刘岩 谭久彬 金鹏
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型传感器 微型机电系统 氮化硅薄膜 磁控射频溅射 剥离技术 微加工技术
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055|TN405
• 字数: 1509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.03.018

摘要

简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3N4薄膜沉积技术及Si3N4薄膜基于剥离(lift-off)技术的微加工技术。实验结果表明该技术适用于微型传感器及MEMS中绝缘薄膜的加工。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	140	2284	28.0	42.0
2	金鹏	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	15	98	5.0	9.0
3	刘岩		2	26	2.0	2.0