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基于准LIGA技术的微齿轮制作
微齿轮
准LIGA技术
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BSRF生物大分子光束线站自动化集成系统
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文献信息
篇名 LIGA technique and Application at BSRF
来源期刊 北京同步辐射装置:英文版 学科 化学
关键词 LIGA技术 BSRF Ni微结构
年,卷(期) 2001,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 147-148
页数 2页 分类号 O614.813
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DOI
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2001(0)
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研究主题发展历程
节点文献
LIGA技术
BSRF
Ni微结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
北京同步辐射装置:英文版
季刊
北京玉泉路19号高能所
出版文献量(篇)
69
总下载数(次)
0
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0
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