硬基体上TiN薄膜涂层硬度的测定

• 作者: 王章忠
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 超硬薄膜 显微硬度 涂层质量
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 所属期刊栏目: 机械加工与自动化
• 页码范围: 20-21
• 页数: 2页
• 分类号: TB93
• 字数: 2457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2001.08.008

摘要

通过系列载荷显微硬度试验,采用合适的硬度模型及随后的数据处理尽量排除薄膜涂层厚度及压痕尺寸效应的影响,较真实地测量了在高速钢基体上涂覆TiN薄膜的硬度,为表面涂层质量控制提供了一个有应用价值的试验方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王章忠		164	1066	18.0	23.0