ZrO2薄膜的SPEB分析

• 作者: 娄彦良 肖文凯
• 来源期刊: 郑州工业大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锆薄膜 慢正电子束 成分
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 28-29
• 页数: 2页
• 分类号: O348.6
• 字数: 1654字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6833.2001.02.009

摘要

用慢正电子束(SPEB)对自制ZrO2薄膜进行了成分分析.结果发现,ZrO2薄膜表层存在一个厚约20 nm的高正电子吸收层,该表层的特殊结构与Y在表层的偏聚有关.高于500 ℃的退火处理可以大大减小该层的厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	娄彦良	华中科技大学材料科学与工程学院	9	40	4.0	6.0
2	肖文凯	武汉大学机械工程系	22	41	3.0	5.0