铁电薄膜电容器YBCO/Pb(Ta0.05Zr0.48Ti0.47)O3/YBCO/Pt/TiO2/SiO2/Si的性质

• 作者: 刘治国 李启亮 殷江 王栩生 高兴森
• 来源期刊: 南京大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁电 极化 疲劳 保持
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 页码范围: 619-624
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 1178字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0469-5097.2001.05.015

摘要

铁电薄膜有望被应用于"不挥发随机存储器(NvRAM)",在这其中,Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜由于有较大的剩余极化,较小的矫顽场,高居里点,以及与硅集成的可能性而得到了广泛的研究.但是,由于铁电薄膜与金属电极之间的界面不理想,以及铁电薄膜中的晶界角度过高,而大大降低了铁电电容器的性能.最近的研究表明,通过用导氧化物作电极,可部分的改善电薄膜的疲劳和保持性能.用脉冲激光沉积法(PLD),以YBa2Cu3O7(YBCO)为隔离层,在Pt/TiO2/Si(100)衬底上制备Pb(Ta0.05Zr0.4Ti0.47)O3(PTZT)铁电薄膜;并以YBCO为上下电极做成铁电电容器.X衍射发现以YBCO为电极的PTZT结晶成完全钙钛矿相.SEM结果表明PTZT晶粒大约在180 nm左右,YBCO.Pt,Pt/TiO2界面非常清晰,没有发现任何扩散.在RT6000HVS环境下,发现在91 kV/cm的外场下反转1×1011次后,此电容器的极化P*和P分别只减少了20%和6%;在145 kV/cm的读写外场下经过1×105s后,此电容器的极化基本保持不变;在过大的外场下,此电容器的疲劳特性明显变差.由于引入YBCO过渡层,改善了界面,减少了薄膜中氧空位的聚集程度,铁电薄膜的疲劳及保持性能得到了极大的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷江		9	81	2.0	9.0
2	刘治国		18	114	4.0	10.0
3	李启亮		1	1	1.0	1.0
4	王栩生		1	1	1.0	1.0
5	高兴森		1	1	1.0	1.0