TDR-70型单晶炉的研制

• 作者: 李留臣 杨润
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 结构 磁流体密封 翻板阀
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 新设备
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 2914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2001.02.010

摘要

介绍了TDR-70型单晶炉的性能参数及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨润		10	58	4.0	7.0
2	李留臣		25	153	8.0	11.0