（Ba1-xSrx）TiO3薄膜的制备及性能的研究

• 作者: 刘少波 刘梅冬 曾亦可 李楚容 邓传益
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 (Ba1-xSrx)TiO3 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 1456字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2001.01.012

摘要

选用Ba（C2H3O2）2、Sr（C2H3O2）2.1／2H2O和Ti（OC4H9）4为原材料，冰醋酸为催化剂，乙二醇乙醚为溶剂。用改进的溶胶-凝胶技术在Pt／Ti／SiO2／Si基片上成功地制备出钙钛矿型结构的（Ba1-xSrx）TiO3薄膜。该薄膜是制备铁电动态随机存取存储器、微波电容和非致冷红外焦平面阵列的优选材料；分析了薄膜的结构；测试了薄膜的介电和铁电性能。在室温10kHz下，（Ba0.73Sr0.27）TiO3薄膜介电系数和损耗分别为300和0.03。在室温1kHz下，（Ba0.95Sr0.05）TiO3薄膜剩余极化强度和矫顽场分别为3μC／cm2和50kV／cm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾亦可	华中科技大学电子科学与技术系	65	723	15.0	25.0
2	刘梅冬	华中科技大学电子科学与技术系	41	707	16.0	25.0
3	刘少波	华中科技大学电子科学与技术系	12	396	10.0	12.0
4	李楚容	华中科技大学电子科学与技术系	10	236	7.0	10.0
5	邓传益	华中科技大学电子科学与技术系	14	94	4.0	9.0