Sol-Gel法制备Ba1-xSrxTiO3薄膜的光学性质研究

• 作者: 张曰理 莫党 阳生红
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭偏光谱 光学常数谱 Sol-Gel工艺 BST薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0529-6579.2006.01.008

摘要

采用Sol-Gel工艺,在Si(100)衬底上制备了Ba1-xSrx TiO3 (0.1≤ x ≤0.3)多晶薄膜,并用椭偏光谱仪在光子能量为2.0～5.2 eV的范围内,测量了不同Sr含量x下Ba1-xSrxTiO3多晶薄膜的椭偏光谱.建立适当的拟合模型,用最优化法获得了所有样品的光学常数(折射率n和消光系数k)谱及能隙宽度Eg.比较这些结果发现:在低能区,Ba1-xSrxTiO3薄膜的折射率n随Sr含量x的增加无明显变化,但其吸收边向高能方向移动.表明Ba离子被Sr离子取代后,Ba1-xSrxTiO3薄膜的能隙宽度Eg增大.