溶胶-凝胶法制备外延Ba1-xSrxTiO3薄膜及其结构与性能研究

• 作者: 杨向荣 王玮 章天金
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 溶胶-凝胶工艺 外延生长 电性能
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 393-396
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 3355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2002.05.016

摘要

应用溶胶-凝胶技术在Pt/MgO(100)衬底上成功地制备了Ba0.65Sr0.35TiO3外延薄膜.XRD和SEM分析结果表明:该薄膜在O2气氛中650℃热处理1h后,其(001)面是沿着Pt(100)和MgO(100)面外延取向生长的;薄膜表面均匀致密,厚度为260nm,平均晶粒大小为48.5nm.当测试频率为10kHz时,BST薄膜的介电常数和损耗因子分别为480和0.02.介电常数-温度关系测试结果表明:sol-gel工艺制备的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜其居里温度在35℃左右,且在该温度下Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜存在扩散铁电相变特征.当外加偏置电压为3V时,BST薄膜的漏电流密度为1.5×10-7A/cm2.该薄膜可作为制备新型非制冷红外焦平面阵列和先进非制冷红外热像仪的优选材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学物理学与电子技术学院	82	321	11.0	14.0
2	王玮	湖北大学物理学与电子技术学院	8	57	3.0	7.0
3	杨向荣	湖北大学物理学与电子技术学院	12	135	6.0	11.0