渗氮-气相沉积硬质膜复合处理技术及其发展

• 作者: 谢飞
• 来源期刊: 江苏石油化工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 渗氮 气相沉积 复合处理 硬质膜
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TG156.8+2
• 字数: 4111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0411.2001.04.012

摘要

阐述了渗氮-气相沉积硬质膜复合处理的设计思想.从渗氮-气相沉积硬质膜复合处理工艺方法的选择、复合处理层组织结构、性能研究等方面介绍了渗氮-气相沉积硬质膜复合处理技术的发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢飞	江苏石油化工学院机械工程系	9	45	4.0	6.0