渗氮-气相沉积TiN复合处理层膜基间“黑色层”组织的形成与控制

• 作者: 何家文 谢飞
• 来源期刊: 江苏石油化工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 渗氮 气相沉积 复合处理 “黑色层”
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TG156.8+2
• 字数: 1819字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0411.2001.02.002

摘要

通过对渗氮层中连续化合物层（“白亮层”）的稳定性与气相沉积工艺特性的分析，从热力学和动力学两方面分析了渗氮-气相沉积TiN复合处理时“黑色层”的形成机理。研究认为“黑色层”系由渗氮“白亮层”分解而来。热力学上，渗氮“白亮层”不稳定，在钛离子作用下易于生成TiN。当气相沉积时的等离子体提供活性钛及离子轰击产生位错和空位时，即从动力学上促进转变发生，形成“黑色层”；同时，“黑色层”能否形成还与气氛氮势、体系温度有关。上述分析可以完满解释文献中有关“黑色层”的实验现象。由此给出了避免“黑色层”的途径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何家文		81	1138	18.0	30.0
2	谢飞	江苏石油化工学院机械工程系	9	45	4.0	6.0