半导体电子气体常用配置及消防要素

• 作者: 陈毅功
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 电子气体 消防
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 新技术与应用
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3615字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2001.04.012

摘要

根据集成电路晶片生产的实践,介绍一种半导体电子气体常用配置方式;并依照环保及安全的要求,提出了实施过程中系统的消防要素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈毅功		3	6	1.0	2.0