面向MEMS的微细加工技术

• 作者: 罗均 谢少荣 龚振邦
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 MEMS 微细加工技术
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 综述专稿
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TG5
• 字数: 8795字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2001.05.001

摘要

MEMS技术将是21世纪科技与产业的制高点之一,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础.微细加工技术在传统光刻工艺的基础上,又发展了灰调光刻、Lift-Off、LIGA及准LIGA、激光和分子装配等适应三维结构的新技术.本文综述了目前国内外各种微细加工及其关键技术的研究状况,并介绍了微细加工技术和MEMS的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗均		82	634	13.0	21.0
2	谢少荣		61	426	10.0	17.0
3	龚振邦		113	1396	21.0	31.0