研制平面旁热式甲烷气敏元件

• 作者: 孙承松 王利伟
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 平面旁热式 甲烷 气敏元件
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1877字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2001.10.004

摘要

本文介绍了一种平面旁热式甲烷气敏元件的研制.它是利用高频溅射仪在硅片上制作出加热电阻.在它的气敏材料中,通过添加多种物质来降阻,从而使元件工作温度易于达到甲烷气体的敏感温度区域.并讨论了不同加热电压对灵敏度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙承松		17	134	6.0	11.0
2	王利伟		1	0	0.0	0.0