用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜

• 作者: 刘彦松 李伟群 林成鲁 王连卫 黄继颇
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光淀积 氧化锌 压电性 声表面波
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 78-79，90
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2001.01.029

摘要

采用脉冲激光淀积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上淀积了ZnO薄膜.XRD、TEM和AFM分析表明,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度.通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火,ZnO薄膜的电阻率提高到107Ω@cm.这些结果表明,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW)器件的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘彦松	中国科学院上海冶金研究所	2	109	2.0	2.0
2	王连卫	中国科学院上海冶金研究所	11	156	4.0	11.0
3	黄继颇	中国科学院上海冶金研究所	5	146	4.0	5.0
4	林成鲁	中国科学院上海冶金研究所	44	595	15.0	23.0
5	李伟群	中国科学院上海硅酸盐研究所	1	63	1.0	1.0