氮化碳薄膜的结构与特性

• 作者: 吴现成 贺德衍 陈光华
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 氮化碳 薄膜 扫描电镜 硬度
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 377-380
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1960字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2001.02.031

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积(CVD)+负偏压热丝辅助方法直接在Si(100)衬底上制备了多晶C3N4薄膜.X射线衍射测试表明,薄膜同时含有α-和β-C3N4晶相以及未知结构,没有观测到石墨衍射峰.利用扫描电子显微镜观测到线度约2μm、横截面为六边形的β-C3N4晶粒.纳米压痕法测得薄膜的硬度达72.66 Gpa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺德衍	兰州大学物理系	68	559	13.0	19.0
2	吴现成	兰州大学物理系	9	165	6.0	9.0
3	陈光华	兰州大学物理系	5	73	5.0	5.0