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增强腔在大失谐原子光刻中的应用
增强腔在大失谐原子光刻中的应用
作者:
曾庆林
王育竹
蔡惟泉
霍芸生
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
大失谐光场
原子光刻
增强腔
摘要:
对增强腔在大失谐光场原子光刻中的实现进行了详细的讨论,通过增强腔对激光光束的压缩和功率的增强可达到近共振原子光刻的要求.数值结果显示相对于近共振原子刻印结果,在增强腔下光束中心处沉积的原子条纹宽度将更细,为原子刻印提供了一种实现条纹精细度较高的新型方案.
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基于微型控制器的原子光刻系统自动化控制研究
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捕陷原子在大失谐双色场中的量子崩塌-回复特性
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文献信息
篇名
增强腔在大失谐原子光刻中的应用
来源期刊
中国激光
学科
物理学
关键词
大失谐光场
原子光刻
增强腔
年,卷(期)
2001,(9)
所属期刊栏目
激光物理与激光化学
研究方向
页码范围
783-785
页数
3页
分类号
O431.2
字数
1988字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0258-7025.2001.09.005
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
大失谐光场
原子光刻
增强腔
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
主办单位:
中国光学学会
中科院上海光机所
出版周期:
月刊
ISSN:
0258-7025
CN:
31-1339/TN
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
邮发代号:
4-201
创刊时间:
1974
语种:
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
总被引数(次)
105193
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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