基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术

• 作者: 张鸿海 王志勇 郭文明 鲍剑斌
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 静电力显微镜 石英晶振 微力传感器
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 664-668
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|TN384|TN16
• 字数: 3176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2001.05.026

摘要

在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜.此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号,同时获得样品表面微观形貌特征和表面电特性,如表面电荷分布、表面电势等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鸿海	华中科技大学机械学院纳米技术实验室	68	430	11.0	16.0
2	王志勇	华中科技大学机械学院纳米技术实验室	18	145	7.0	11.0
3	鲍剑斌	华中科技大学机械学院纳米技术实验室	9	142	3.0	9.0
4	郭文明	华中科技大学机械学院纳米技术实验室	3	11	2.0	3.0