解耦型静电力闭环微陀螺

• 作者: 刘宗林 吴学忠 李圣怡
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 叉指驱动 微陀螺
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 401-405
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|V241
• 字数: 3488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.02.050

摘要

微陀螺采用双框架双支撑解耦结构实现X-Y方向运动相对独立,驱动模态采用叉指电容结构实现大范围静电驱动,敏感模态方向采用差分电容作为检测接口实现高精度位置测量.X方向设计了独立的位移检测单元,而Y方向配置了静电力反馈单元,实现系统的闭环静电力反馈控制,提高传感器的性能.为分析提高系统输出精度的条件,推导出影响系统检测灵敏度的因素,改进了驱动模态闭环方案,提出了敏感模态无相差静电力反馈方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程研究所	70	934	18.0	28.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程研究所	186	3101	27.0	44.0
3	刘宗林	国防科技大学机电工程研究所	10	180	5.0	10.0