双框架解耦微陀螺原理样机研制

• 作者: 刘显学 吴嘉丽 周浩 唐海林 张茜梅 施志贵 郑英彬
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微惯性测量组合 微陀螺 鲁棒优化设计 键合-深刻蚀释放体硅工艺 驱动电路 检测电路
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 716-719
• 分类号: TN403|V241.5
• 字数: 2627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2892.2010.06.019

摘要

为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺.通过采用可工程化的鲁棒优化结构设计和工艺补偿的制造工艺,实现了工艺误差范围内的稳健设计.这种内外框架结构的微陀螺设计,包括自激闭环驱动电路和开环检测电路,对微陀螺进行测试,得到微陀螺驱动模态品质因素＞2 000,检测模态品质因素＞800,量程为2 400°/s,线性度＜0.3%,灵敏度为1°/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张茜梅	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	29	3.0	5.0
2	唐海林	中国工程物理研究院电子工程研究所	16	76	5.0	8.0
3	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0
4	施志贵	中国工程物理研究院电子工程研究所	20	121	7.0	10.0
5	周浩	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	18	3.0	3.0
6	刘显学	中国工程物理研究院电子工程研究所	11	38	4.0	5.0