一种具有隔振框架的解耦硅微陀螺

• 作者: 侯占强 吴学忠 李伟东 李圣怡 肖定邦 董培涛
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微陀螺 解耦结构 隔振框架
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2427-2431
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.12.028

摘要

提出了一种利用隔振框架解耦的硅微陀螺,其驱动模态和检测模态不仅有各自独立的支撑结构,还有各自独屯的惯性质量块,隔振框架隔离了驱动结构和检测结构,减小了模态之间的交叉耦合;利用TMAH湿法腐蚀结合深反应离子刻蚀工艺,在n型<100>低阻硅片上制作出了微陀螺样片,并为其研制了配套的测控电路;测试结果表明,驱动模态频率为2.981kHz,品质因子为800,检测模态频率为2.813kHz,品质因子为34,刻度因子为38mV/(°/s),线性度优于0.8%,微陀螺在0.5h内的零偏稳定度为0.28°/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董培涛	国防科技大学微系统实验室	14	67	5.0	7.0
2	吴学忠	国防科技大学微系统实验室	70	934	18.0	28.0
3	李圣怡	国防科技大学微系统实验室	186	3101	27.0	44.0
4	肖定邦	国防科技大学微系统实验室	28	149	8.0	11.0
5	侯占强	国防科技大学微系统实验室	13	72	5.0	7.0
6	李伟东		5	28	3.0	5.0