导电薄膜方电阻的同轴探针无损测量方法

• 作者: 朱航飞 王相元 田雨波 钱鉴
• 来源期刊: 微波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 方电阻 同轴探针 吸波材料
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 科研通讯
• 页码范围: 61-63
• 页数: 3页
• 分类号: TM2
• 字数: 1087字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-6122.2002.04.014

摘要

方电阻是表征薄膜吸波材料的重要特征参量.本文给出了用同轴探针非破坏性测量导电薄膜方电阻的准确方法及对应公式和样品实测数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱鉴	南京大学电子科学与工程系	14	93	5.0	9.0
2	田雨波	南京大学电子科学与工程系	7	45	4.0	6.0
3	王相元	南京大学电子科学与工程系	6	77	3.0	6.0
4	朱航飞	南京大学电子科学与工程系	4	41	2.0	4.0