真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究

• 作者: 刘文言 刘洪源 张泰华 王秀兰
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 真空磁过滤电弧离子镀 类金刚石 耐磨性
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 工程实践
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153
• 字数: 1515字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2002.06.014

摘要

采用真空磁过滤电弧离子镀方法,在GT35基体上沉积类金刚石膜.通过对清洗工艺及弧电流、工件所加负偏压、沉积温度等参数的研究,制定出了合理的工艺路线,并对这种膜层进行了X-射线光电子谱(XPS)分析,利用干涉仪、纳米硬度计对膜层的粗糙度、纳米硬度作了进一步检测.结果表明,采用此种方法制备的类金刚石膜层,SP3含量约为40.1%;组织致密,无大的颗粒;镀膜后的粗糙度可以达到0.015 μm;纳米硬度约为55 GPa.并将膜层与TiN膜层组成摩擦副,进行了耐磨性试验,结果表明膜层的耐磨性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张泰华	中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室	39	1013	14.0	31.0
2	王秀兰		6	69	5.0	6.0
3	刘文言		7	83	4.0	7.0
4	刘洪源		2	6	1.0	2.0