摩尔定律与半导体设备

• 作者: 翁寿松
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 摩尔定律 光刻设备 互连设备 纳米半导体设备
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 196-199
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 4628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.04.002

摘要

介绍了摩尔定律及其寿命和争议.同时介绍了ITRS2001及其对缩小芯片特征尺寸的争议.讨论了影响摩尔定律寿命的半导体工艺及设备,如光刻工艺及设备、互连工艺及设备和纳米半导体工艺及设备.并对发展我国半导体设备提出了建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁寿松		2	105	2.0	2.0