单电子晶体管及其工艺制作技术

• 作者: 张世林 梁惠来 郭维廉 郭辉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 库仑阻塞 隧道结 单电子晶体管 分子束外延 扫描隧道显微镜 电子束光刻
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 11-18
• 页数: 8页
• 分类号: TN321
• 字数: 7329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.04.003

摘要

基于库仑阻塞效应和量子尺寸效应工作的单电子晶体管(SET)由于具有超小器件尺寸、超低功耗、超低工作电流和超高工作频率等特点,受到人们的重视和深入研究.本文通过简要介绍SET的器件结构、原理和特性,分析了实现SET的关键因素,回顾和评述了SET制作技术的进展及前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张世林	天津大学电信工程学院微电子系	109	334	8.0	11.0
2	郭维廉	天津大学电信工程学院微电子系	145	419	10.0	12.0
3	梁惠来	天津大学电信工程学院微电子系	37	130	7.0	9.0
4	郭辉	天津大学电信工程学院微电子系	18	75	5.0	8.0