曝光台校正透镜修正效果的检测

• 作者: 应根裕 李刚 汪健如
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 校正透镜 落点位移 光斑图像
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 255-259
• 页数: 5页
• 分类号: TN141.4
• 字数: 3077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.04.004

摘要

检验曝光台校正透镜的修正效果,通常是通过在生产线上实际制管来进行.这种方法费时费力,并且存在各制作工序误差的积累.本文研制了一种装置,通过检测透镜修正前后光落点在荧光屏内表面的落点位移,直接检测修正效果,并且测量精度能达到3～5 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李刚	清华大学电子工程系	53	509	13.0	21.0
2	应根裕	清华大学电子工程系	23	61	5.0	7.0
3	汪健如	清华大学电子工程系	13	18	2.0	4.0