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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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总被引数（次）
19905
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  • 1. 激光显像管的初步研究
    作者： 吴华夏 洪光烈
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  163-166
    摘要： 用高能电子束作泵浦源,去激励半导体晶体屏,可以产生激光,实现高亮度高清晰显示.
  • 2. SSRF光子吸收器的研制
    作者： 殷立新 蒋迪奎 陈丽萍
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  167-172
    摘要： 用于SSRF的水平和垂直两种光子吸收器已研制成功.光子吸收器既要吸收高功率负载和高功率密度的废弃的同步辐射,又要准直引出的光束,并受到严重的空间限制.设计仔细考虑了吸收器的结构形状、吸收面上...
  • 3. 静电加速器高频离子源引出电极的光学设计
    作者： 余增亮 卢超 詹福如
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  173-177,201
    摘要： 高频离子源管道式引出电极的几何参数对束流引出具有重要影响.本文通过建立束流最佳引出数学模型,对引出电极的几何参数进行了离子光学计算,确定了适合引出H+,N+,Ar+等多种束流的引出电极合适的...
  • 4. 放电间隙和显示电极宽度对彩色AC-PDP光电特性的影响
    作者： 孙鉴 胡文波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  178-181
    摘要： 为了提高彩色AC-PDP的性能,以放电间隙和显示电极宽度对表面放电型AC-PDP光电特性的影响进行实验研究和理论分析.结果表明,表面放电型AC-PDP显示电极间的放电不符合巴邢定律,即着火电...
  • 5. 真空共蒸发沉积制备酞菁铜-酞菁铅复合膜及性能研究
    作者： 刘焕明 季振国 朱玲 汪茫 王家为 郭伟民 阙端麟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  182-185
    摘要： 本文通过真空共蒸发制备了酞菁铜-酞菁铅复合膜.光电子谱测试发现真空共蒸发制备的复合膜中同时具有铜和铅的成分,相对含量与源中酞菁铜与酞菁铅的含量有关.光吸收谱分析表明复合膜的吸收带(Q带)明显...
  • 6. 新型电子元器件装备列入国家计委组织实施的新型电子元器件专项发展重点
    作者： 董元昌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  185
    摘要：
  • 7. 射频溅射ZnO薄膜的晶体结构和电学性质
    作者： 李德杰 黄静华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  186-188,192
    摘要： 氧化锌(ZnO)具有较宽的带隙(3.1 eV)和较低的亲合势(3.0 eV),有可能用作薄膜场发射阴极中的电子传输层材料.本文主要研究了用射频磁控溅射法制备ZnO薄膜时,衬底温度和溅射气氛对...
  • 8. Rb3C60单晶薄膜制备及Rb3C60/C60相界面稳定性研究
    作者： 刘风琴 吴太权 吴悦 庄友谊 张建华 徐亚伯 易·奎热西 李宏年 李海洋 钱海杰 陈晓 鲍世宁
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  189-192
    摘要： 通过控制蒸发源电流、源和样品间距及扩散时间,室温下在C60单晶(111)解理面上制备出Rb3C60.用低温同步辐射角分辨光电子谱测量了样品的能带结构.观察到的能带色散表明样品为单晶薄膜.用X...
  • 9. 扩散、合并和粗化:沉积在液体基底表面Ag原子团簇及薄膜的演变过程
    作者： 叶高翔 杨波 焦正宽 金进生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  193-197
    摘要： 研究了沉积在液体基底表面的Ag原子团簇的扩散、合并和粗化机制.对薄膜生长过程的原位观察结果表明:沉积在硅油表面的Ag原子首先凝聚成具有网状结构的薄膜;然后薄膜破裂成分枝状的碎片,并逐渐凝聚成...
  • 10. 真空发生器系统吸附响应时间的确定
    作者： 何枫 姚朝晖 陈远
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  198-201
    摘要： 真空发生器是一种重要的真空发生装置,广泛地应用于自动化生成领域.本文的目的是确定真空发生器系统的吸附响应时间以实现过程的精密控制.文中根据瞬变流理论和真空发生器的流量特性,建立了用于计算真空...
  • 11. 射频溅射法制作Y2O2S∶Eu发光薄膜
    作者： 成建波 李军建 祁康成
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  202-204
    摘要： 在钇铝石榴石单晶基片上用射频溅射法制取了Y2O2S∶Eu红色发光薄膜.利用正交试验法,对溅射气体(Ar+H2S)中H2S浓度、退火气氛中SO2与H2的比例、退火温度和退火时间等工艺条件进行了...
  • 12. 场发射显示器支撑墙机械强度的计算与分析
    作者： 张军 李德杰 杜秉初 袁王景
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  205-208
    摘要： 计算了几种不同材料支撑墙在不同承压和允许倾斜角度范围内的应力和形变分布.计算结果表明,采用热压氮化硅或氧化锆陶瓷制作的支撑墙具有足够高的机械强度,是支撑墙材料的较好选择.
  • 13. 电介质保护膜对磁光记录膜的磁和磁光特性的影响
    作者： 刘海林 汤五丰 熊锐 石兢 金明桥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  209-212,220
    摘要： 采用射频磁控溅射法制备了非晶TbFeCo薄膜及其保护层AlN薄膜,并研究保护层对薄膜的磁和磁光特性的影响.结果表明,AlN薄膜可以增强薄膜磁光效应,同时,AlN薄膜对TbFeCo磁光薄膜的矫...
  • 14. 超细Y2O3∶Eu荧光粉的制备及其阴极射线发光研究
    作者： 刘诗逸 成建波 李军建 赵纯经
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  213-216
    摘要： 介绍了尿素-溶胶法制备粒径为100～200 nm的超细Y2O3∶Eu荧光粉的实验.对荧光粉的粒径和形貌进行了SEM分析,测量和分析了荧光粉的XRD谱图以及微观晶体结构,测量了8 kV电压下荧...
  • 15. HT-7U纵场磁体的真空压力浸渍
    作者： 崔益民 武松涛 潘皖江
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  217-220
    摘要： 主要通过模拟匝间流动试验、短样试验和长样试验等,探求低温超导托卡马克HT-7U中纵场磁体线圈的绝缘层真空压力浸渍的工艺参数,确定工艺流程,并以模型线圈试验的电性能和液氦温度下的力学性能来验证...
  • 16. 原位氮掺杂对CVD金刚石薄膜生长和结构的影响
    作者： 刘小平 屈菊兰 谢二庆 贺德衍 邵乐喜 陈光华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  221-223,233
    摘要： 以氮气为杂质源,采用微波等离子体化学气相沉积技术进行了金刚石薄膜的原位掺杂,研究了氮掺杂对CVD金刚石薄膜的形貌结构和生长行为的影响.运用SEM,Raman,XRD和FTIR等手段对样品进行...
  • 17. 电弧离子镀硬质梯度薄膜技术
    作者： 林国强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  224-227
    摘要： 电弧离子镀设备若具有必要的功能条件,就可用纯金属分离靶弧流控制技术来制取多元硬质梯度薄膜,本工作明确合成梯度薄膜的工艺原则,并以TiAl多层合金梯度薄膜和(Ti,M)N(M为Zr,Nb等元素...
  • 18. 数字式图像增强系统及其图像的清晰化
    作者： 聂世琦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  228-230
    摘要： 在图像增强管和图像数字化结合方案的基础上,讨论了如何使用数字算法来消除和补偿图像增强管中由于电子光学系统的像差对图像所产生的影响,使图像清晰化.
  • 19. ECR等离子体中电子能量分析器实验曲线的修正
    作者： 张锐 温晓辉 詹如娟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  231-233
    摘要： 对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论,并提出了相应的修正和拟合的方法
  • 20. a-Si∶H/Al/a-Si∶H三层复合膜的低温晶化研究
    作者： 张溪文 杜丕一 沈鸽 王瑞春 翁文剑 赵高凌 韩高荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  234-238
    摘要： 采用真空热蒸发与PECVD方法,在特殊设计的"单反应室双沉积法"薄膜沉积设备中沉积a-Si∶H/Al/a-Si∶H三层复合薄膜,并利用XRD,XPS及SEM等方法对薄膜在不同温度退火后的晶化...
  • 21. 多介质工艺X射线光刻制作T形栅
    作者： 刘刚 叶甜春 孙加兴 申云琴 谢常青
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  239-241
    摘要： 半导体器件日益向高频、高速方向发展,赝质结高电子迁移率晶体管以其高频、高速、低噪声受到人们重视而发展迅速.在PHEMT的制作工艺中,栅线条的制作是至关重要而又极为困难的.采用X射线多介质工艺...
  • 22. 2002年中国电子信息产品市场展望
    作者： 董元昌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  242
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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