ECR等离子体中电子能量分析器实验曲线的修正

• 作者: 张锐 温晓辉 詹如娟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子能量分析器 曲线拟合 电子回旋共振
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 231-233
• 页数: 3页
• 分类号: TL61+2
• 字数: 1532字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.03.018

摘要

对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论,并提出了相应的修正和拟合的方法

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	詹如娟	中国科学技术大学近代物理系	17	150	7.0	12.0
2	温晓辉	中国科学技术大学近代物理系	8	34	4.0	5.0
3	张锐	中国科学技术大学近代物理系	61	584	15.0	22.0