探讨溶胶-凝胶工艺制备PZT薄膜

• 作者: 佘正国 张红芳
• 来源期刊: 江苏大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 PZT 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 83-87,94
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 字数: 4337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2002.02.021

摘要

介绍溶胶-凝胶法制备PZT铁电薄膜的工艺过程,探讨影响稳定溶胶配制的原材料、溶剂及溶液的pH值选取.分析催化剂和添加剂在提高薄膜质量方面的作用机理,理论上阐述了基片和PbTiO3过渡层对促进PZT薄膜晶化的影响.提出优化溶胶-凝胶技术的

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红芳	江苏大学材料科学与工程学院	1	16	1.0	1.0
2	佘正国	江苏大学材料科学与工程学院	1	16	1.0	1.0