溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜

• 作者: 吴亚雷 吴建华 褚家如
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-电雾化法 PZT薄膜 升温控制
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光微纳器件
• 页码范围: 1792-1795
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 3046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.128

摘要

首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜,分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点,系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点,并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等因素对于PZT压电陶瓷薄膜的表面质量的影响.针对整个工艺过程进行了优化,最终得到了表面质量较好的PZT压电陶瓷薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	吴建华	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	8	60	4.0	7.0
3	吴亚雷	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	12	53	5.0	6.0