水热—溶胶凝胶法制备PZT薄膜

• 作者: 孟庆华 季宏丽 朱孔军 董娜娜 裘进浩
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 压电 锆钛酸铅 薄膜 水热—溶胶凝胶
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 17-20
• 分类号: TN384
• 字数: 3139字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.12.005

摘要

采用水热—溶胶凝肢法制备了锆钛酸铅( PZT)压电陶瓷薄膜.首先利用水热法处理Si基板,使之生成SiO2/Si层,然后采用旋涂法在处理好的Si基板上涂覆摩尔比r(Zr:Ti)为52:48的PZT前驱体溶胶.研究了基板处理方式、退火温度以及涂胶层数对PZT薄膜结晶性能、表面形貌及厚度的影响.结果表明:水热处理Si基板对PZT薄膜性能有很大提高；随着退火温度的提高,薄膜的结晶性提高,表面更加致密;200℃下水热处理Si基板16h,最终退火温度为850℃的PZT薄膜结晶性及表面形态最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季宏丽	南京航空航天大学机械结构强度与振动国家重点实验室	94	484	11.0	17.0
2	裘进浩	南京航空航天大学机械结构强度与振动国家重点实验室	124	623	12.0	18.0
3	朱孔军	南京航空航天大学机械结构强度与振动国家重点实验室	55	310	10.0	14.0
4	董娜娜	南京航空航天大学机械结构强度与振动国家重点实验室	3	8	2.0	2.0
5	孟庆华	南京航空航天大学机械结构强度与振动国家重点实验室	2	8	2.0	2.0