以溶胶-凝胶法PZT薄膜为驱动的微泵研制

• 作者: 刘红梅 卜丹 曲伟 曹茂盛 赵全亮 邱成军
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT薄膜 溶胶-凝胶法 各向异性刻蚀 微泵 MEMS
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 846-849
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2007.06.009

摘要

采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵.采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应.针对微泵的关键结构--复合驱动膜,探索了一种Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时探讨并解决了硅各向异性刻蚀微泵的微驱动腔、单向阀的工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征.研究结果表明,采用MEMS技术成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀.在V型阀微泵整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足功耗低、小型化和批量生产的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱成军	黑龙江大学集成电路重点实验室	35	231	6.0	14.0
3	曲伟	黑龙江大学集成电路重点实验室	16	49	4.0	6.0
4	曹茂盛	北京理工大学材料科学与工程学院	64	562	14.0	22.0
7	刘红梅	黑龙江大学集成电路重点实验室	12	58	4.0	7.0
8	赵全亮	北京理工大学材料科学与工程学院	5	11	2.0	3.0
9	卜丹	黑龙江大学集成电路重点实验室	8	23	3.0	4.0