薄膜厚度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响

• 作者: 刘艳美 孙兆奇 孙大明 宋学萍 李爱侠 赵宗彦
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: Ag-MgF2金属陶瓷薄膜 应力 厚度 微结构
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 知识与进展
• 页码范围: 177-182
• 页数: 6页
• 分类号: O484.2
• 字数: 2105字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2002.03.013

摘要

用电子薄膜应力分布测试仪测量了薄膜厚度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响,结果表明:薄膜厚度在130 nm、φ20.4 mm选区内的薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀,应力为压应力.XRD分析表明,当薄膜厚度在70～400 nm范围内,Ag-MgF2薄膜中的Ag的晶格常数变化比较大,说明Ag晶粒结构对薄膜结构的影响较大,从而对薄膜内应力的影响也较大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘艳美	安徽大学物理系	37	186	7.0	11.0
2	宋学萍	安徽大学物理系	63	367	10.0	14.0
3	赵宗彦	安徽大学物理系	24	138	6.0	10.0
4	孙兆奇	安徽大学物理系	91	563	11.0	16.0
5	李爱侠	安徽大学物理系	37	194	9.0	11.0
6	孙大明	安徽大学物理系	13	101	6.0	9.0