新型二维纳米级微动工作台的动力学分析

• 作者: 刘品宽 孙立宁 曲东升 荣伟彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米定位 柔性铰链 有限元分析
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 143-147
• 页数: 5页
• 分类号: TP24
• 字数: 1621字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.02.006

摘要

提出一种新型、集成式压电驱动两自由度nm级微定位工作台系统,工作台采用直角柔性平行板铰链,实现X,Y方向的运动,采用杠杆放大柔性铰链机构实现对压电陶瓷位移的放大.并对这种新型结构形式理论分析与实验测试.根据拉格郎日方程建立微动工作台的运动微分方程,推导出系统前两阶固有频率的解析式.采用有限元分析方法对微动工作台进行模态分析,得到微定位工作台有效工作的谐振频率和振型,并对微动工作台的模态频率进行了实验测试.经理论分析、有限元计算和实验测试结果进行对比与分析的一致性说明理论分析的正确性和数值分析的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人研究所	98	1491	23.0	33.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
3	曲东升	哈尔滨工业大学机器人研究所	47	1041	20.0	31.0
4	刘品宽	哈尔滨工业大学机器人研究所	19	609	15.0	19.0