热阴极与冷阴极电离规稳定性的比较研究

• 作者: 李得天
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 热阴极电离规 冷阴极电离规 校准
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 201-210
• 页数: 10页
• 分类号: TB771|TN107
• 字数: 6653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2002.04.003

摘要

电离规作为参考标准或副标准时,稳定性尤为重要.通常在校准服务中,只有热阴极电离规用作参考标准或副标准,不采用冷阴极电离规的传统原因是冷阴极电离规的非连续性、低压力下放电延迟效应以及它的不稳定性等.尽管现代反磁控型冷阴极电离规被认为解决了这些问题,但没有足够的数据来证明这些特性.作者介绍了对3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的校准结果,校准采用的是高真空基础标准,校准范围为10-7～10-3 Pa,校准气体包括N2、Ar、He和H2.在1×10-4 Pa恒定压力下连续72 h观测中,热阴极电离规在N2、Ar和He中的稳定性优于反磁控规,但在H2中所有规的稳定性相似.在6个月的重复校准中,所有规在N2、Ar和He中的长期稳定性相似,但在H2中反磁控规的长期稳定性优于热阴极电离规.对于不同的气体,反磁控规的非连续性出现在不同的压力点,反磁控规的非连续性使校准工作变得更为复杂.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0