采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析

• 作者: 丁德宏 付世 刘宏俊 吕品 姚朋军 杨春常 沈桂芬 王振波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: TMAH 粗糙度 腐蚀速率 各向异性
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 251-255
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3003字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2002.03.016

摘要

TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于<100>、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率,得出重要结论.此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈桂芬	辽宁大学物理系	15	136	6.0	11.0
2	付世	辽宁大学物理系	8	47	5.0	6.0
3	丁德宏	辽宁大学物理系	7	47	5.0	6.0
4	姚朋军	辽宁大学物理系	10	109	6.0	10.0
5	吕品	辽宁大学物理系	24	113	6.0	10.0
6	王振波		56	1677	20.0	40.0
9	杨春常	辽宁大学物理系	4	12	2.0	3.0
10	刘宏俊	辽宁大学物理系	3	6	1.0	2.0