TMAH腐蚀液的研究

• 作者: 刘玲 姚朋军 张宏 张宏庆 沈桂芬 范军
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: TMAH 粗糙度 腐蚀速率 各向异性腐蚀
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 微电子技术
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TP21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2003.10.014

摘要

IMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.文章通过大量对比实验,对该腐蚀液用于＜100＞、＜111＞单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率,得出重要结论.此研究对正确使用rMAH腐蚀液有重要指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈桂芬	辽宁大学物理系	15	136	6.0	11.0
2	姚朋军	辽宁大学物理系	10	109	6.0	10.0
3	张宏庆	辽宁大学物理系	8	57	4.0	7.0
4	范军	辽宁大学物理系	8	57	4.0	7.0
5	张宏	辽宁大学物理系	12	37	4.0	6.0
6	刘玲	辽宁大学物理系	5	16	1.0	4.0