微细线条加工中光刻精度的保证

• 作者: 王冬梅 路海林 陈东石
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 光刻精度 光刻胶
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 3520字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2002.02.008

摘要

论述了光刻在集成电路生产中的重要性,讨论了各种行之有效的光刻精度的保证方法,并分析了进一步提高光刻精度的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈东石		2	3	1.0	1.0
2	路海林		2	3	1.0	1.0
3	王冬梅		1	3	1.0	1.0