沉积条件对CVD-SiC沉积热力学与形貌的影响

• 作者: 徐永东 肖鹏 黄伯云
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: SiC 形貌 沉积热力学 沉积条件
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 877-881
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 字数: 2059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2002.04.040

摘要

以CH3SiCl3为源物质,H2为载气,Ar气为稀释气体,研究了沉积温度和沉积气氛压力对SiC沉积形貌的影响.应用晶体成核-长大理论和SiC沉积热力学理论,解释了SiC沉积的各种形貌.研究表明:降低系统压力和提高沉积温度,能减小SiC在气相中形核所需的最大能量,促进形核.SiC沉积热力学随沉积条件的改变决定了SiC沉积形貌的改变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄伯云	中南大学粉末冶金国家重点实验室	607	8891	43.0	60.0
2	徐永东	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	131	1982	23.0	37.0
3	肖鹏	中南大学粉末冶金国家重点实验室	157	1541	19.0	30.0