热丝碳化促进CVD金刚石成核增强的物理机制

• 作者: 吴惠桢 徐晓玲 石成儒 邱东江 郝天亮
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 热丝碳化 金刚石 成核
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3079字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2002.01.015

摘要

采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响.热丝经充分碳化后能发射出更多热电子,进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3+.使金刚石晶核的孕育期大为缩短,3min内即可在未经表面预处理的Si衬底上获得1010cm-2以上的高晶核密度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴惠桢	浙江大学物理系	37	219	9.0	12.0
2	邱东江	浙江大学物理系	22	144	8.0	11.0
3	徐晓玲	浙江大学物理系	11	170	8.0	11.0
4	石成儒	浙江大学中心实验室	6	55	5.0	6.0
5	郝天亮	浙江大学中心实验室	5	33	4.0	5.0