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CVD金刚石膜{100}取向生长的原子尺度仿真
CVD金刚石膜{100}取向生长的原子尺度仿真
作者:
刘国权
刘胜新
安希忠
张禹
王辅忠
秦湘阁
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
金刚石膜
化学气相沉积
动力学Monte Carlo
原子尺度模拟
表面反应模型
摘要:
运用动力学蒙特卡洛(KMC)方法从原子尺度对CVD金刚石膜{100}取向在3种不同化学反应模型下的生长进行了仿真.结果表明:(1)以CH3为主要生长组元的生长机制比较适合于{100}取向金刚石膜的生长;(2) 对金刚石{100}取向而言,含有双碳基团的模型沉积速度并不比含有单碳基团的模型沉积速度大;(3)在高的生长速率下仍有可能获得表面粗糙度较小的金刚石膜;(4)对Harris模型的仿真结果与其本人的预测结果一致,并与实验结果符合良好.
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CVD金刚石
工具应用
金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
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内容分析
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内容分析
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关键词热度
相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
CVD金刚石膜{100}取向生长的原子尺度仿真
来源期刊
北京科技大学学报
学科
工学
关键词
金刚石膜
化学气相沉积
动力学Monte Carlo
原子尺度模拟
表面反应模型
年,卷(期)
2002,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
143-148
页数
6页
分类号
TQ164|O561.2|TB34
字数
4213字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1001-053X.2002.02.012
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘国权
北京科技大学材料科学与工程学院
192
1645
20.0
30.0
2
王辅忠
北京科技大学材料科学与工程学院
12
132
6.0
11.0
3
刘胜新
北京科技大学材料科学与工程学院
11
113
6.0
10.0
4
秦湘阁
北京科技大学材料科学与工程学院
11
120
6.0
10.0
5
张禹
北京科技大学应用科学学院
9
58
5.0
7.0
6
安希忠
北京科技大学材料科学与工程学院
4
23
4.0
4.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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1997(2)
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参考文献(2)
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化学气相沉积
动力学Monte Carlo
原子尺度模拟
表面反应模型
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
工程科学学报
主办单位:
北京科技大学
出版周期:
月刊
ISSN:
2095-9389
CN:
10-1297/TF
开本:
大16开
出版地:
北京海淀区学院路30号
邮发代号:
创刊时间:
1955
语种:
chi
出版文献量(篇)
4988
总下载数(次)
18
总被引数(次)
47371
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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