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摘要:
运用动力学蒙特卡洛(KMC)方法从原子尺度对CVD金刚石膜{100}取向在3种不同化学反应模型下的生长进行了仿真.结果表明:(1)以CH3为主要生长组元的生长机制比较适合于{100}取向金刚石膜的生长;(2) 对金刚石{100}取向而言,含有双碳基团的模型沉积速度并不比含有单碳基团的模型沉积速度大;(3)在高的生长速率下仍有可能获得表面粗糙度较小的金刚石膜;(4)对Harris模型的仿真结果与其本人的预测结果一致,并与实验结果符合良好.
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文献信息
篇名 CVD金刚石膜{100}取向生长的原子尺度仿真
来源期刊 北京科技大学学报 学科 工学
关键词 金刚石膜 化学气相沉积 动力学Monte Carlo 原子尺度模拟 表面反应模型
年,卷(期) 2002,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 143-148
页数 6页 分类号 TQ164|O561.2|TB34
字数 4213字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1001-053X.2002.02.012
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘国权 北京科技大学材料科学与工程学院 192 1645 20.0 30.0
2 王辅忠 北京科技大学材料科学与工程学院 12 132 6.0 11.0
3 刘胜新 北京科技大学材料科学与工程学院 11 113 6.0 10.0
4 秦湘阁 北京科技大学材料科学与工程学院 11 120 6.0 10.0
5 张禹 北京科技大学应用科学学院 9 58 5.0 7.0
6 安希忠 北京科技大学材料科学与工程学院 4 23 4.0 4.0
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工程科学学报
月刊
2095-9389
10-1297/TF
大16开
北京海淀区学院路30号
1955
chi
出版文献量(篇)
4988
总下载数(次)
18
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47371
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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