注入氮离子的SiC涂层阻氢性能研究

• 作者: 王小英 邹觉生 黄宁康
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束混合 注入N+ SiC涂层 阻氢涂层
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TG151.1|TG174.444
• 字数: 3511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1560.2002.02.010

摘要

利用离子束混合-离子注入(Ar+)和磁控溅射相结合的实验技术在HR-1不锈钢基体上制备了注入N+的SiC涂层,并用表面分析手段对所制备涂层的表面形貌、剖面形貌、相结构、表面成分、表面元素的化学态进行了分析.结果表明:制备的涂层结构致密、表面平整、膜层成分均匀;涂层与基体之间形成了一明显的过渡层,增强了涂层和基体之间的结合力.用二次离子质谱(SIMS)对充氘涂层的阻氢性能进行了定性分析.结果表明:涂层元素与氢形成稳定的化学键,抑制了氢的扩散和迁移,使得涂层具有一定的阻氢能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹觉生		36	278	10.0	13.0
2	王小英		11	45	4.0	6.0